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本文介绍了利用离子束抛光方法获得石英和单晶硅两种材料的超光滑表面，利用原子力显微镜（ＡＦＭ）进行该类表面微观形貌的测试工作。这种加工和测试可以在纳米尺度上进行。在合适的工艺参数条件下，我们已能获得微观形貌小于１ｎｍ（ｒｍｓ）的超光滑表面。
超光滑表面的离子束抛光与微观形貌检测
【摘 要】
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本文介绍了利用离子束抛光方法获得石英和单晶硅两种材料的超光滑表面，利用原子力显微镜（ＡＦＭ）进行该类表面微观形貌的测试工作。这种加工和测试可以在纳米尺度上进行。在合适的工艺
【机 构】
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中国科技大学精密机械与精密仪器系,中国科技大学国家同步辐射实验室
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1995年S1期
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