【摘 要】
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利用超声喷雾热解方法以不同的Al掺杂量在石英衬底上制备了N-Al共掺ZnO薄膜,并对其光学性能进行了研究.采用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、紫外可见分光光度计（UV）和光致
【基金项目】
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辽宁省教育厅科学研究一般项目(L2015292)
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利用超声喷雾热解方法以不同的Al掺杂量在石英衬底上制备了N-Al共掺ZnO薄膜,并对其光学性能进行了研究.采用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、紫外可见分光光度计（UV）和光致发光谱（PL）表征了样品的晶体结构、表面形貌、透过率和光致发光性能.结果表明：所制备薄膜具有较高光学质量,并且Al掺杂量对N-Al共掺ZnO薄膜的光学性能有很大影响,当n（Zn）∶n（N）∶n（Al）=1∶3∶0.12时,UV光谱的吸收边蓝移最多,带隙展宽最大.PL谱测试结果显示此样品近带边紫外发光峰蓝移至384.9
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