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本文介绍了液相外延中非平面InP衬底表面的回溶处理方法,分别用欠饱含InP溶液和欠饱和InGaAsP四元溶液对InP衬底进行回溶处理实验,得到了较好的实验结果。
半导体激光器非平面InP衬底表面的处理技术
【摘 要】
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本文介绍了液相外延中非平面InP衬底表面的回溶处理方法,分别用欠饱含InP溶液和欠饱和InGaAsP四元溶液对InP衬底进行回溶处理实验,得到了较好的实验结果。
【机 构】
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柳州铁路局勘测设计院545007
【出 处】
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铁道运营技术
【发表日期】
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1999年3期
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