Growth of MgO Thin Film on Silicon Substrate by MOCVD

来源 :Rare Metals | 被引量 : 0次 | 上传用户:a619906915
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
Highly oriented MgO(111)and MgO(100)thin films have been deposited on Si(111)and Si(100)substratesby using Low Pressure MOCVD(LPMOCVD).Magnesium 2,4-pentanedionate was used as the source ma-terial.The films have a very smooth surface morphology and optical transparency with an index of refractionof 1.71(632.8 nm).Typical growth rate of the films is 1.0 μm/h.The data of X-ray diffraction analysis indi-cate that the films are fully textured with(111)and(100)orientation perpendicular to the substrate surfacerespectively.The main parameters having influence on the deposition are the substrate temperature,the totalpressure in the reaction chamber,the reaction gases and its flowrate. Highly oriented MgO (111) and MgO (100) thin films have been deposited on Si (111) and Si (100) substrates by using Low Pressure MOCVD (LPMOCVD). Magnesium 2,4-pentanedionate was used as the source ma- terial. The films have a very smooth surface morphology and optical transparency with an index of refraction of 1.71 (632.8 nm). The Tpical growth rate of the films is 1.0 μm / h. The data of X-ray diffraction analysis indi-cate that the films are fully textured with (111) and (100) orientation perpendicular to the substrate surface have exactly the main parameters having influence on the deposition on the substrate temperature, the totalpressure in the reaction chamber, the reaction gases and its flowrate.
其他文献
居都仡佬语的差比结构比较丰富。一是结构形式丰富,既有动词做谓语来表示差比关系,也有用介词引进比较对象做状语来表示差比关系。二是比较标记丰富,动词与介词都具有多种形式。居都仡佬语差比句的类型对于南方民族语言差比句研究具有特别的参考价值。
轮毂是汽车底盘上的重要零部件,工作状态恶劣,长期受交变重载荷的作用,因此,其材质多选用强韧性较好的QT40—10等。为了充分发挥地方生铁的优势,降低生产成本,从1985年开始,
The FT-IR spectra for K_2NbF_7-FLINAK-O~(2-) solution were measured and compared with the spectraof crystalline K_2NbF_7 and K_2NbOF_6.The results show that th
玉器在上古时期有着广泛的应用,因此出现了很多与玉器有关的文字。文字与文化之间有着不可分割的紧密联系,《汉语大字典》中的玉部字从多个方面反映了玉器在上古时期的使用,
词的功能就是表达意义,若使用中所选的词不准确,除了不能表达意义外,还会引起误解。本文选择同一系列对外汉语教材的初级和中级教材,找出其中的同义方位词,分析留学生使用这
目前衡量电视剧好坏的一个量化指标是收视率,这个指标不但反映了观众对该剧的认可程度,同时能带动观众对播出频道其他节目的关注,最重要的是直接影响到播出频道的经济效益。
1991年10月24日,联合国开发计划署向世界宣布:投资300亿美元,用15—20年的时间,在珲春及图们江下游地区建成第二个香港或鹿特丹式的国际性城市,珲春能否发展成为国际性城市,
铁水包使用多年后,经常会发现在浇注过程中包体倾斜时有间断性的寸动现象,俗称“瞌头”。这种故障对于储量较大的铁水包,浇注时的突然晃动不但保证不了连续浇注,影响铸件质
随着我国学校体育竞赛事业的蓬勃发展,由高校自主培养的高水平运动员开始登上世界大学生运动会的舞台,展示了我国大学生运动员的风采。但同时,在建设高水平运动队的过程中,不
本文从研究护环胀形过程中质点的瞬时坐标和原始坐标之间关系着手,应用大变形的形变理论对护环液压胀形强化工艺进行了力学解析,给出了应变场、应力场以及外形尺寸变化关系的