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中芯国际选择了Air Liquide作为长期气体供应商，为其2010年初投产的深圳200mm和300mm晶圆厂供应气体。Air Liquide将投入1300万美元用于设施改造以满足中芯国际的需求。根据条款，Air Liquide将向中芯国际供应氮气、氧气、氢气、氩气等气体。
Air Liquide将为中芯国际深圳晶圆厂供气
【摘 要】
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中芯国际选择了Air Liquide作为长期气体供应商，为其2010年初投产的深圳200mm和300mm晶圆厂供应气体。Air Liquide将投入1300万美元用于设施改造以满足中芯国际的需求。根据条
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2009年11期
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