可变矩形电子束曝光机数据格式转换软件的移植

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:duoduo19851125
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详细介绍了如何在微机上实现JBX-6AⅡ型可变矩形电子束曝光机的数据格式转换工作。在熟悉通用图形数据CIF格式和专用图形数据JEOL51格式的基础上,对如何实现CIF格式到JEOL51格式的转换作了论述,并给出了程序流程图,此外,提出了两种曝光数据检验的方法,并对日光光实验中应注意的问题作了说明。
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