【摘 要】
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提出了将激光辅助化学刻蚀技术应用于钇钡铜氧（YBCO）高温超导薄膜的刻蚀，研究了无掩膜YBCO薄膜激光化学刻蚀的表面特性及其变化规律，在激光辐照下，YBCO薄膜的液相刻蚀速率大大加快
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提出了将激光辅助化学刻蚀技术应用于钇钡铜氧（YBCO）高温超导薄膜的刻蚀，研究了无掩膜YBCO薄膜激光化学刻蚀的表面特性及其变化规律，在激光辐照下，YBCO薄膜的液相刻蚀速率大大加快，并且在整个过程中，刻蚀速率呈现加快趋势，这一特性将有可能用于改善YBCO刻蚀中的横向钻蚀情况，并提高图形边缘的侧壁陡峭度。
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