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利用常规等离子体化学气相沉积(PECVD)工艺制备了nc-Si:H膜,并对其光致发光(PL)特性从10-250K温度范围内进行了变温测量,实验结果指出,随着测试温度升高,PL峰值能量发生了54meV的红移,PL强度在T〉80K后呈指数下降趋势,PL峰值能量的红移起因于带隙收缩,而PL强度的减弱则是由于非辐射复合起了主导作用。