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通过对蓝宝石衬底异质外延GaN薄膜光学透射谱的分析 ,结合晶体薄膜的干涉效应原理并考虑折射率随光子波长变化的影响 ,从理论上推导出了实用的薄膜厚度计算方法 .实际应用表明 ,该方法是一种快速准确的GaN薄膜厚度测量方法
基于透射谱的GaN薄膜厚度测量
【摘 要】
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通过对蓝宝石衬底异质外延GaN薄膜光学透射谱的分析 ,结合晶体薄膜的干涉效应原理并考虑折射率随光子波长变化的影响 ,从理论上推导出了实用的薄膜厚度计算方法 .实际应用表
【机 构】
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西安电子科技大学微电子研究所; 西安电子科技大学微电子研究所 西安710071; 西安710071; 西安710071;
【出 处】
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物理学报
【发表日期】
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2004年04期
【基金项目】
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国防预研项目 (批准号 :4 1 50 1 0 70 1 );国家重点基础研究发展规划(批准号 :2 0 0 2CB31 1 9)资助的课题~~
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