【摘 要】
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利用厚膜印刷技术可以实现气体传感器的小型化,由此可以降低加热器(位于传感器的内侧)的耗电量。在一块基片上形成多种气体传感器的复合传感器,能够达到利用一个传感器检测多
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利用厚膜印刷技术可以实现气体传感器的小型化,由此可以降低加热器(位于传感器的内侧)的耗电量。在一块基片上形成多种气体传感器的复合传感器,能够达到利用一个传感器检测多种气体的目的。用这种方法可以大批量地工业化生产高精度的传感器。
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