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给出了悬臂梁阀单腔压电泵的理论分析，根据压电振子与流体耦合的理论，建立了压电泵系统的动态模型。分析了流体质量、输出压力和系统阻尼对压电泵最佳工作频率的影响，认为减小腔体高度可以提高压电泵的最佳工作频率，提高压电泵的稳定性。通过分析压电振子结构参数对变形量的影响规律，确定了振子的最佳结构参数，认为压电陶瓷层与金属基板厚度比取0．45～0．55，直径比取0．8～0．9最佳。研究了压电泵出流形式对压电泵输出能力的影响，认为轴向出流有利于提高压电泵的输出能力。