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随着集成电路设计技术和制造工艺的飞速发展,针对高性能混合集成电路的高速高精度检测技术、基于物理/电特性的力电综合检测及寿命预测技术等,逐渐成为集成电路测试发展的前沿和热点方向,综合考虑应力特性及电特性的力电检测技术对提高集成电路检测效率、故障定位、提升应用系统的可靠性和安全性等,具有重要的价值和意义。