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微型加速度计作为一种新型惯性传感器,它在体积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命方面都具有传统加速度计无可比拟的优势.3140型压阻式微硅加速度计是美国IC Sensors公司的产品.文中介绍了它的结构设计和工作原理,并对其重要性能参数进行了测试和分析.
3140型压阻式微硅加速度计测试与分析
【摘 要】
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微型加速度计作为一种新型惯性传感器,它在体积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命方面都具有传统加速度计无可比拟的优势.3140型压阻式微硅加速度计是美国IC Sensors公司的产
【机 构】
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清华大学精密仪器系,北京市,100084
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2000年5期
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