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基于漂移扩散近似,对大气压下氧气射频放电产生的等离子体建立了一维流体模型,包括了电子、正离子和负离子的连续性方程、电子能量方程及泊松方程。采用有限差分法对所建立的模型进行了自洽的数值模拟,得到了相应的数值结果。通过对所得数值结果的分析,研究了大气压下氧气放电的基本特性。研究表明,大气压氧气放电中等离子体密度可达到12310 cm-3,电子温度约在1.23eV,放电中主要的负离子是O-离子;随着电压峰值的增加,电子密度、电子温度都增加,但 nO-/ne的比率先增加到7.5%又后减小到5%,在电压峰值为700