【摘 要】
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利用氩离子束镀膜技术在SiO2 /Si衬底上淀积钛酸锶 (SrTiO3)膜 ,并制成平面型电阻器 .结果表明 :在实验温区 (2 8～ 150℃ )内 ,SrTiO3薄膜具有负温度系数电阻特性 ,且热敏特性
【机 构】
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利用氩离子束镀膜技术在SiO2 /Si衬底上淀积钛酸锶 (SrTiO3)膜 ,并制成平面型电阻器 .结果表明 :在实验温区 (2 8～ 150℃ )内 ,SrTiO3薄膜具有负温度系数电阻特性 ,且热敏特性比较明显 ,在室温 30℃时 ,温度系数α达 - 2 .15%℃ - 1.建立热敏电阻 -电容器并联模型 ,分析了频率对不同温度下薄膜电阻器阻抗的影响 .在实验温区内 ,SrTiO3薄膜的介电常数具有较好的热稳定性
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