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介绍了一种用硅微加工技术制作的ＮｉＴｉ／Ｓｉ薄膜结构的双向微驱动器。它利用ＮｉＴｉ形状记忆合金薄膜（ＳＭＡ）大的相变回复应力和Ｓｉ衬底膜的反偏置力产生有一定位移量的双向运动。对ＮｉＴｉ薄膜进行合理的图形化后使得驱动器位移量增大，双向效应显著，响应速度提高。
新型的形状记忆合金／硅薄膜微驱动器
【摘 要】
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介绍了一种用硅微加工技术制作的ＮｉＴｉ／Ｓｉ薄膜结构的双向微驱动器。它利用ＮｉＴｉ形状记忆合金薄膜（ＳＭＡ）大的相变回复应力和Ｓｉ衬底膜的反偏置力产生有一定位移量的双向运动。对ＮｉＴｉ薄膜进行合理的图形化
【机 构】
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上海交通大学信息存储研究中心
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1999年4期
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