【摘 要】
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准连续紫外激光器在精密材料微加工、紫外固化、光刻蚀等领域有广泛的应用,目前,国内高功率准连续紫外激光器的研制尚处于起步阶段,在激光功率稳定、光束质量等方面存在挑战.
【机 构】
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河南省洛阳市电光设备研究所,中国人民解放军63880部队
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准连续紫外激光器在精密材料微加工、紫外固化、光刻蚀等领域有广泛的应用,目前,国内高功率准连续紫外激光器的研制尚处于起步阶段,在激光功率稳定、光束质量等方面存在挑战.设计了一套基于腔内倍频的准连续紫外激光器,以808nm半导体泵浦Nd：YVO4晶体LBO紫外激光器,实现了波长为355nm的25~50kHz准连续紫外激光输出,激光器最高功率达3.48W,热效应得到了有效控制,光束质量较好.该研究结果将助于紫外高功率准连续激光器的商业化开发及应用.
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