【摘 要】
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基于计算流体力学在三维空间中模拟了水平行星式金属有机物化学气相沉积(MOCVD)反应器生长GaN材料的流场、热场、反应物与生成物的分布以及材料生长速率等重要物理参数．计算结
【机 构】
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清华大学电子工程系集成光电子学国家重点实验室
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基于计算流体力学在三维空间中模拟了水平行星式金属有机物化学气相沉积(MOCVD)反应器生长GaN材料的流场、热场、反应物与生成物的分布以及材料生长速率等重要物理参数．计算结果与同样条件下的实验结果吻合程度相当高，表明化学反应机理和计算方法是非常可靠的，能够以此来模拟和指导GaN基材料的MOCVD生长工艺．研究并讨论了GaN的MOCVD生长中输入Ⅴ／Ⅲ比、进气口双束流上下比、总流量、反应室压力等工艺条件对局域Ⅴ／Ⅲ比的影响．
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