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为惯性约束聚变（ICF）实验中利用光栅分光特性间接探测激光功率研究，制备具有高激光损伤阈值的光栅分光ZrO2薄膜。采用水热法制备纳米ZrO2溶胶，在80－100℃下，以20m/min速度涂敷制备出厚1－2μm、拆射率为1．57－1．70、表面粗糙度2．3nm、激光损伤阈值为25－30J/cm^2(1ns,1.06μm）的ZrO2薄膜。采用Ar^+激光器双光束干涉曝光技术制备光栅掩膜板，光栅周期为1－2μm，深度70－100nm。通过电镀工艺将光栅结构转移至镍板上，经连续模压，最终制备出光栅分光ZrO2薄膜