TP77椭圆偏振光测厚仪功能的拓展研究

来源 :华中科技大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:khalista5
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成功地将TP77椭圆偏振光测厚仪改装成以卤钨灯或氙灯为光源的广谱椭偏仪.改装后的椭偏仪不含λ/4波长片,而配有一型号为WDG5001A的单色仪和一个X-Y函数记录仪,它可用来测量固体薄膜和片状材料的折射指数n(λ)和消光指数k(λ).
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