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期刊论文
YBCO超导薄膜的等离子体氟化研究
YBCO超导薄膜的等离子体氟化研究
来源 :黑龙江科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tianwang800
【摘 要】
:
本文通过对荣华二采区10
【作 者】
:
傅泽禄
顾大振
刘雷
赵恩海
康琳
冯一军
吉争鸣
王晓书
尹晓波
杨森祖
【机 构】
:
南京大学电子科学与工程系,微结构科学技术高等研究中心,南京,210093;南京大学现代分析中心,南京,210093;南京大学物理系,微结构科学技术高等研究中心,南京,210093;
【出 处】
:
黑龙江科技信息
【发表日期】
:
2000年6期
【关键词】
:
超导薄膜
等离子体
氟化处理
元素
相对强度
反应作用
薄膜表面
势垒层
膜形成
气体
可控
化学
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本文通过对荣华二采区10<
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