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半导体器件DPA不合格的根源研究
半导体器件DPA不合格的根源研究
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:beiwei72
【摘 要】
:
破坏性物理分析(DPA)是用于检测半导体器件的。经检测发现,不合格原因既有半导体器件生产厂的,也有使用厂和其它方面的。且使用厂的问题比例不低,不容忽视。本文最后指出,正确的技
【作 者】
:
张素娟
周永宁
郑鹏洲
【机 构】
:
总装备部军用电子元器件DPA实验室
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
破坏性物理分析
半导体器件
可靠性
不合格根源
DPA
semiconductor device
reliability
incompetent sour
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破坏性物理分析(DPA)是用于检测半导体器件的。经检测发现,不合格原因既有半导体器件生产厂的,也有使用厂和其它方面的。且使用厂的问题比例不低,不容忽视。本文最后指出,正确的技术分析和公正的判断对DPA工作极为重要。
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