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半导体晶圆划片工艺是芯片制程中的重要工序，与传统砂轮切割相比，激光切割技术具有能耗低、产出高等特点，且伴随激光技术的不断进步以及器件小型化的发展需求，激光切割技术将在半导体切割工艺中占据愈发重要的地位。本研究主要从激光切割技术的原理、技术优势等方面，对现有的相关技术进行介绍和讨论。
激光技术在半导体晶圆划片工艺中的应用
【摘 要】
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半导体晶圆划片工艺是芯片制程中的重要工序，与传统砂轮切割相比，激光切割技术具有能耗低、产出高等特点，且伴随激光技术的不断进步以及器件小型化的发展需求，激光切割技术将在半导体切割工艺中占据愈发重要的地位。本研究主要从激光切割技术的原理、技术优势等方面，对现有的相关技术进行介绍和讨论。
【机 构】
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科学技术创新
【出 处】
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科学技术创新
【发表日期】
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2023年17期
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