【摘 要】
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采用薄结构膜片的用于生物医学方面的高性能压阻式压力传感器Ｓ．Ｍａｒｃｏ，等１．引言高性能的硅压阻式压力传感器已广泛应用于工业环境中，然而在生物医学方面，若利用硅压阻式压力传感器进行介入
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采用薄结构膜片的用于生物医学方面的高性能压阻式压力传感器Ｓ．Ｍａｒｃｏ，等１．引言高性能的硅压阻式压力传感器已广泛应用于工业环境中，然而在生物医学方面，若利用硅压阻式压力传感器进行介入性测量以直接监视被测物，则将在大小尺寸、准确度和灵敏度方面受到严格...
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