【摘 要】
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氧化锌薄膜是在微电子领域有着广泛应用的半导体材料,其导热特性对微电子器件的性能有重要影响.采用非平衡(NEMD)分子动力学方法和优化的Buckingham势函数对纤锌矿氧化锌纳米
【基金项目】
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辽宁省自然科学基金:异构时变网络的参量观测与同步控制器的设计(2015020079)
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氧化锌薄膜是在微电子领域有着广泛应用的半导体材料,其导热特性对微电子器件的性能有重要影响.采用非平衡(NEMD)分子动力学方法和优化的Buckingham势函数对纤锌矿氧化锌纳米薄膜热导率进行数值模拟.模拟结果表明:室温下厚度范围在29.15~45.81nm之间的氧化锌薄膜热导率数值在0.90995~1.25126W/(m·k)之间,具有明显的尺寸效应;当系统温度从100k升高到500k时,薄膜热导率下降趋势明显.该文所研究的内容在氧化锌纳米薄膜热传导领域具有一定的实际应用价值.
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