【摘 要】
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表3 。各种千法腐蚀的比鞍干法腐蚀所用的墓称j选择～矗i i 【 f } I !桶形腐蚀或隧道形腐蚀! 优 各向同性 ; ; : 。 。 ;顺流或支流等离子腐蚀i 优 各向同性离鹾腐蚀 ;极好(如果化可由各向同性(如i ;学机理的话) I好(如果化学 .一物理机机理) I等离子腐蚀(PE) :极好(若化学 』
table 3 . A variety of thousands of corrosion than the saddle dry corrosion used in the tomb that j choice ~ chi i i [f} I! Barrel corrosion or tunnel corrosion! Excellent isotropy ;. :. . ; If the plasma is isotropic (eg, if the mechanics of the words) I good (if the chemical - a physical mechanism) I plasma corrosion (PE) Very good (if chemistry
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