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介绍了一种小型化的2.45GHz小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模方法.根据等效电路，推导出平面螺旋电感线圈的品质因数，并进行数值分析.研究表明：无载品质因数随结构、尺寸和频率等的变化而变化，并在谐振频率附近达到最大值.这为小功率电感耦合微波等离子体源的优化设计提供了理论依据.
平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模分析
【摘 要】
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介绍了一种小型化的2.45GHz小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模方法.根据等效电路，推导出平面螺旋电感线圈的品质因数，并进行数值分析.研究表明：无载品质因数随结构、
【机 构】
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华东师范大学信息学院电子系
【出 处】
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电波科学学报
【发表日期】
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2007年3期
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