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集成电路的化学品供应系统为生产线提供高品质化学品，因芯片与化学品直接接触，化学品供应系统的稳定与否影响生产线的正常运行。集成电路的化学品供应系统分为酸碱、有机、研磨液等种类，有槽车和化学桶供应模式，由泵或氮气供应到使用点。主要从设计、安全对策、运行管理等方面探讨了集成电路的化学品供应系统。
集成电路的化学品供应系统探讨
【摘 要】
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集成电路的化学品供应系统为生产线提供高品质化学品，因芯片与化学品直接接触，化学品供应系统的稳定与否影响生产线的正常运行。集成电路的化学品供应系统分为酸碱、有机、研磨
【机 构】
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上海华虹NEC电子有限公司
【出 处】
：
洁净与空调技术
【发表日期】
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2008年4期
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