浅析物理气相沉积技术的新进展

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物理气相沉积本是基于材料表面实施改性处理的现代技术手段,它最早是应用在半导体工业和航天工作中.在机械工业活动中,它充当一种现代表面强化技术是在八十年代,一般表现在切削工具表面强化方面,以此来增强零件性能.本文首先介绍物理气相沉积技术,然后探究取得的新进展,最后研究实际应用.
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