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采用真空热蒸发法，在玻璃衬底上制备稀土Dy掺杂CdO薄膜并进行热处理。对薄膜进行结构和光学特性测试分析。实验给出：掺Dy后CdO薄膜沿（111）晶向的衍射峰增强，随掺Dy含量的增大峰强度逐渐减弱。掺Dy含量为5％时可促进薄膜晶粒的生长改善薄膜的晶相结构特性。制备的薄膜表面颗粒均匀，存在颗粒聚集现象。随掺Dy含量增加薄膜的透光率增大，掺Dy含量为9at％时，在波长大于900nm的区域透光率可达90％，略高于纯CdO薄膜。