光学弱相干测温

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将光学弱相干层析与激光干涉测量结合,提出了一种新型测温方法,光学弱相干测温,该方法利用光源的弱相干性抑制背影反射光,同时使待测相位通过光学方法放大,测温精度显著提高,特别适用于较薄样品,较低温度变化的测量。
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