【摘 要】
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摩托罗拉半导体生产部、日本东京电子有限公司（TEL）和W．L．GOre公司最近联合开发了一项圆片级老化新技术。这项技术是三家公司经过18个月的共同努力后开发出的。摩托罗拉和ThL将进
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摩托罗拉半导体生产部、日本东京电子有限公司（TEL）和W．L．GOre公司最近联合开发了一项圆片级老化新技术。这项技术是三家公司经过18个月的共同努力后开发出的。摩托罗拉和ThL将进人更为正式的合作开发用以证实这项技术，并将之投人生产。摩托罗拉计划在1999年开始使用这项技术。这项新技术在环境控制状态下运用了TEL的圆片探针技术。该工艺原本用于凸台器件的测试，但它将扩展应用于测试所有类型互连的器件。圆片放置在表面绝对于平整的加热吸盘上。一电接触头与圆片对准，通过一层接触材料而接触。Gore提供这种名为CO
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