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分析了基于MEMS的F-P腔可调谐滤波器的基本结构和调谐原理,从理论和试验这个方面对可调谐滤波器的重要参数进行分析和测试。研究结果表明,基于MEMS的F-P腔可调谐滤波器具有自由谱域宽(45nm)、插入损耗低(3.55dB)、带宽窄(半高全宽FWHM为0.32nm)、回波损耗大(〉50dB)、响应速度快(2ms)、电压驱动范围宽(0~40V)、偏振相关损耗低(0.1dB)和加压稳定性好等优点,特别是FWHM能满足光纤传感系统要求。通过对MEMS进行技术改进,基于MEMS的F-P腔可调谐滤波器性能将有更大的