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分析了基于MEMS的F-P腔可调谐滤波器的基本结构和调谐原理，从理论和试验这个方面对可调谐滤波器的重要参数进行分析和测试。研究结果表明，基于MEMS的F-P腔可调谐滤波器具有自由谱域宽（45nm）、插入损耗低（3．55dB）、带宽窄（半高全宽FWHM为0．32nm）、回波损耗大（〉50dB）、响应速度快（2ms）、电压驱动范围宽（0～40V）、偏振相关损耗低（0．1dB）和加压稳定性好等优点，特别是FWHM能满足光纤传感系统要求。通过对MEMS进行技术改进，基于MEMS的F-P腔可调谐滤波器性能将有更大的