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微电子机械系统是一项有广泛应用前景的实用技术。这里对微装配的必要性、微操作作业的特性及其中的力特性和表面力的消除办法进行了探讨。并根据已有实验数据进行了分析。
微操作的特性及静电力的消除
【摘 要】
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微电子机械系统是一项有广泛应用前景的实用技术。这里对微装配的必要性、微操作作业的特性及其中的力特性和表面力的消除办法进行了探讨。并根据已有实验数据进行了分析。
【机 构】
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中科院长春光学精密机械物理研究所,广东工业大学自动化所
【出 处】
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机械设计与制造
【发表日期】
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2000年6期
【基金项目】
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国家 8 63计划! (991 4 - 0 1 ),广东省重点学科资助项目! (省 970 0 0 4 )
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