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[期刊论文] 作者：匡尚奇,,
来源：吉林化工学院学报 年份：2018
在以培养具有完整物理知识体系的理科本科生的教学目标中,热学教学是必要的组成部分。为了深化热学教学内容并提高教学质量,在教学过程中结合相关史实并融入唯物辩证法的相关...
[学位论文] 作者：匡尚奇,,
来源：吉林大学 年份：2004
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[期刊论文] 作者：匡尚奇,
来源：中国光学 年份：2012
为提高光栅的衍射效率，提出了基于主动拉曼效应的超冷原子光栅系统。理论研究表明：通过拉曼增益的空间周期性调节，可有效地将沿垂直光栅方向传播的弱探测光衍射到一级方向，同时零......
[期刊论文] 作者：匡尚奇,宋贵才,
来源：大学教育 年份：2020
文章对长春理工大学理学院近4年的本科光学课程教学改革实践进行了总结,探讨分析其在教学内容、教学方法和教学手段方面的经验,为进一步深化光学教学改革和提高教学质量积累...
[期刊论文] 作者：梅雪峰,匡尚奇,谢耀,,
来源：长春理工大学学报(自然科学版) 年份：2016
针对EUV多层膜的表征和设计过程中普遍采用的遗传算法（GA）存在的大种群和求解效率低的问题,本文将实数编码量子进化算法（QEA）应用于EUV多层膜的表征和宽光谱EUV多层膜的设计过程......
[期刊论文] 作者：王珣,金春水,匡尚奇,喻波,,
来源：中国光学 年份：2014
总结并讨论了极紫外光刻技术中，有关极紫外光学器件受辐照污染的＂在线＂检测方法。简要介绍了极紫外光刻系统的原理、反射镜膜层结构以及表面污染产生的机理；指出光刻系统中＂在线＂检......
[期刊论文] 作者：祝文秀,金春水,匡尚奇,喻波,,
来源：光学学报 年份：2012
极紫外光刻是实现22nm技术节点的候选技术。极紫外光刻使用的是波长为13.5nm的极紫外光,但在160～240nm波段,极紫外光刻中的激光等离子体光源光谱强度、光刻胶敏感度以及多层膜...
[期刊论文] 作者：张挺耸,徐铭泽,匡尚奇,
来源：教育信息化论坛 年份：2019
自然科学之间的的交叉融合已经成为现代科学发展的必然趋势,复合型交叉学科人才的培养对国家科技、科学发展有着重要的意义。复合型人才的培养需要在高校环境中实施,大学物理...
[期刊论文] 作者：王珣,金春水,李春,匡尚奇,
来源：光学学报 年份：2015
极紫外（EUV）反射镜在使用过程中的氧化及表面碳污染沉积，严重影响了极紫外光刻（EUVL）技术的工业应用。为了延长EUV 反射镜的稳定性与使用寿命，一般采取在Mo/Si多层膜表面添加保护层。采用直流反应磁控溅射技术，建立氧气流量与溅射电压之间的“迟滞回线”关系，进而准确掌......
[期刊论文] 作者：刘春宇,张莹,张挺耸,匡尚奇,,
来源：才智 年份：2020
科研水平是高等院校的教育教学水平、科技创新能力、学生创新能力、学生乃至教师的创业能力的重要标志.高等院校教育与基础学校教育的重要区别在于创新型人才的培养,而本科生...
[期刊论文] 作者：李超逸,陶保全,郭祥帅,匡尚奇,
来源：量子光学学报 年份：2020
极紫外多层膜利用各个界面反射光的相长干涉,在极紫外波段获得了高反射率,已成为极紫外光刻设备中反射式光学系统的核心元件.本文对近年来极紫外多层膜表征、设计和制备领域...
[期刊论文] 作者：匡尚奇,张超,王一名,周祥燕,谢耀,,
来源：光学精密工程 年份：2017
为提高基于量子进化算法（QEA）在宽带极紫外（EUV）多层膜设计中的求解效率和精度，本文利用宽带多层膜的光学性能评价函数的梯度信息改进QEA，建立具有明确进化方向的适用于宽带EuV多层......
[期刊论文] 作者：刘馨泽,匡尚奇,刁金玉,林景全,
来源：应用物理 年份：2021
为了确保基于Schwarzschild结构的极紫外光刻掩模缺陷检测系统的成像质量,本文应用等效工作面法对其进行了优化设计。将传统光学设计方法得到的Schwarzschild放大系统的优化...
[期刊论文] 作者：王珣,金春水,匡尚奇,喻波,金方圆,
来源：光学学报 年份：2014
极紫外光刻（EUVL）是最有可能实现22 nm技术节点的下一代光刻技术。极紫外（EUV）光刻系统使用波长为13．5 nm，在此波段下曝光设备只能采用全反射式系统。然而，在极紫外光辐照下的光学元......
[期刊论文] 作者：张超,张杰瑞,王一名,匡尚奇,谢耀,,
来源：光学学报 年份：2017
提出了一种基于实数编码量子进化算法(RQEA)的宽角度极紫外(EUV)多层膜理论膜系的设计方法。采用基于实数编码的遗传算法(RGA)和RQEA对宽角度Mo/Si多层膜进行了理论设计和分...
[期刊论文] 作者：王一名,张超,孙秀平,匡尚奇,杨海贵,
来源：长春理工大学学报：自然科学版 年份：2018
掠入射X射线反射（GIXR）是光学薄膜表征的优选方法,但它需要建立相应的物理模型并采用一定的算法进行拟合求解。针对目前普遍使用的进化算法存在着种群规模大、收敛速度慢和拟合......
[期刊论文] 作者：周祥燕, 张超, 匡尚奇, 龚学鹏, 杨海贵,,
来源：中国激光 年份：2017
掠入射X射线反射(GIXR)由于检测精度高且对检测薄膜的无损伤而被广泛用于薄膜检测和高精度表征。GIXR是一种基于数值拟合的间接检测方法,因此在薄膜微观结构的求解,特别是复...
[会议论文] 作者：匡尚奇, 姜云, 康智慧, 胡学浩, 高锦岳,,
来源： 年份：2004
近年来,人们对三能级型原子的电磁感应光透明进行了广泛及深入的研究。目前,人们将 EIT 中的强耦合行波场换为驻波场进行研究,发现了一系列新的物理现象。在实验方面,实...
[期刊论文] 作者：陶保全,郭祥帅,李博涵,匡尚奇,李超逸,
来源：长春理工大学学报:自然科学版 年份：2021
为降低X射线超反射镜镀膜误差导致的光谱性能退化、提高其可制备性,提出了基于多目标遗传算法的X射线超反射镜鲁棒性设计方法,将X射线超反射镜的反射带性能和膜厚随机误差引起的反射带偏差作为两个优化目标进行优化。考虑到X射线光学系统掠入射反射的特殊性,在......
[期刊论文] 作者：匡尚奇,李硕,杨海贵,霍同林,周洪军,
来源：光学精密工程 年份：2018
极紫外(EUV)宽带多层膜的光谱性能对膜厚控制精度要求较高,仅由时间控制膜厚的镀膜系统难以满足其精度控制要求。本文提出了基于进化算法的宽带EUV多层膜离散化膜系设计方法,...
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