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[期刊论文] 作者:黄大定,姚振钰, 来源:半导体学报 年份:1993
采用质量分离的低能离子束外延(MALE-IBE)技术进行超薄硅外延生长,在600C下获得单晶硅外延层,厚度2000A,过渡区宽度小于500A。有较好的电学性质。...
[期刊论文] 作者:姚振钰,贺洪波, 来源:功能材料与器件学报 年份:2000
室温下在p-Si(100)上采用直流反应磁控溅射法外延生长了ZnO薄膜。XRD测量表明了ZnO是高度c轴单一取向生长的,XRC测量则表明了ZnO的高质量在室温下的PL测量中见到了带边发射,其强度与晶体质量有关。......
[期刊论文] 作者:贺洪波,姚振钰, 来源:功能材料与器件学报 年份:1999
在玻璃基底和四种硅基底上用反应式直流磁控溅射法制备了ZnO薄膜。用AES和XRD对薄膜结构和组分进行测试,结果表明,五种基底上生长的ZnO薄膜在不同程度上都具有优良的纵均匀性、明显的c轴择优......
[会议论文] 作者:姚振钰,贺洪波, 来源:第六届全国固体薄膜学术会议 年份:1998
[期刊论文] 作者:吴正龙,姚振钰, 来源:半导体学报 年份:1999
本文报道了利用质量分离低能双离子束淀积法在硅-氧化硅图形衬底上采用不同的工艺条件淀积钴离子,并生长硅化钴薄膜,扫描俄歇微探针(SAM)和X光电子能谱(XPS)测量结果表明,只在纯硅区探测到了......
[期刊论文] 作者:姚振钰,秦复光, 来源:半导体学报 年份:1992
采用质量分析的低能离子束外延法生长了半导体性质的β-FeSi_2外延薄膜.就我们所知,在用同类方法的研究中,国际上尚属首次.AES测量及RHEED观察肯定了外延的β-FeSi_2的存在;...
[期刊论文] 作者:姚振钰,张国炳, 来源:半导体学报 年份:1998
用质量分离的离子束外延(MALE-IBE或简作IBE)法在n-Si(111)上生长了CoSi2超薄外延膜.厚度为10~20nm的CoSi2薄膜的结构特性已由AES、RHEED及RBS作了研究.实验结果表明Co的淀积率对CoSi2单晶生长来说是一个关键因素......
[期刊论文] 作者:吴正龙,姚振钰, 来源:北京师范大学学报:自然科学版 年份:1998
利用质量分离低能离子束外延法,在Si(111)上生长出了硅化钴薄膜,表面微结构及表面组分,化学价态的分析测试表明,此生长工艺已获得了无针孔的高品质单晶硅化钴薄膜。通过反应外延后做后退......
[会议论文] 作者:姚振钰,张国炳, 来源:第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会 年份:1997
[会议论文] 作者:姚振钰,刘志凯, 来源:第九届全国微波磁学会议 年份:1998
利用离子束辅助沉积法,在Si(100)基片上制备了三种Fe-N薄膜(到达比N/Fe=0.09,0.12,0.15,包括Fe16N2)。对这三种Fe-N薄膜,用铁磁共振测定饱和磁化强度和铁磁共振线宽,结合磁性测量、电镜观......
[会议论文] 作者:姚振钰,任治璋, 来源:中国有色金属学会1993年砷化镓及有关化合物会议 年份:1993
[会议论文] 作者:姚振钰,秦复光, 来源:中国有色金属学会1993年砷化镓及有关化合物会议 年份:1993
[会议论文] 作者:姚振钰[1]张建辉[1], 来源:第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份:1999
采用直流反应磁控溅射法、室温下在N-Si(001)上外廷生长了ZnO薄膜。XRD表明已得到ZnO(0002)的高度C-轴单一取向的结果。XRC则表明在一批样品上FWHM<1.1°。这优于国内外溅射法同行得到的约2°的最佳结果。而且生长温......
[会议论文] 作者:姚振钰,柴春林,贺洪波, 来源:全国化合物半导体.微波器件和光电器件学术会议 年份:2000
室温下在p-SI(100)上采用直流反应磁控溅射法外延生长了ZnO薄膜。XRD测量表明了ZnO是高度c轴单一取向生长的,XRC测量则表明了ZnO的高质量。在室温下的PL测量中见到了 带边发射...
[期刊论文] 作者:贺洪波,范正修,姚振钰, 来源:功能材料与器件学报 年份:1999
在玻璃基底和四种硅基底上用反应式直流磁控溅射法制备了ZnO薄膜.用AES和XRD对薄膜结构和组分进行测试,结果表明,五种基底上生长的ZnO薄膜在不同程度上都具有优良的纵向均匀性、......
[会议论文] 作者:姚振钰,贺洪波,柴春林, 来源:全国化合物半导体.微波器件和光电器件学术会议 年份:2000
室温下在p-SI(100)上采用直流反应磁控溅射法外延生长了ZnO薄膜。XRD测量表明了ZnO是高度c轴单一取向生长的,XRC测量则表明了ZnO的高质量。在室温下的PL测量中见到了 带边发射,其强度与晶体质量有关。......
[会议论文] 作者:姚振钰,吴正龙,徐俊英, 来源:第五届全国固体薄膜学术会议 年份:1996
采用质量分析的低能氮离子束对SI-GaAs表面作氮化研究,初步结果表明,在选用能量为500ev、剂量为1×10〈’17〉cm〈’-2〉的N〈’+〉离子作用于室温衬底后,可以得到绝缘性质良好,界而态密度不高的优质氮化......
[期刊论文] 作者:贺洪波,范正修,姚振钰,汤兆胜, 来源:中国科学E辑:技术科学 年份:2000
采用常规磁控溅射方法 ,通过优化工艺 ,在Si( 10 0 ) ,Si( 111)多种基片上沉积ZnO薄膜 .利用透射电镜 (TEM)、X射线衍射 (XRD)和X射线摇摆曲线 (XRC) ,对ZnO薄膜的微区形貌、...
[期刊论文] 作者:贺洪波,范正修,姚振钰,汤兆胜, 来源:Science in China(Series E:Technological Sciences) 年份:2000
The preparation of high quality ZnO/Si substrates for the growth of GaN blue light emitting materials is considered. ZnO thin films have been deposited on Si (...
[会议论文] 作者:姚振钰,张建辉,刘志凯,贺洪波, 来源:第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份:1999
采用直流反应磁控溅射法、室温下在N-Si(001)上外廷生长了ZnO薄膜。XRD表明已得到ZnO(0002)的高度C-轴单一取向的结果。XRC则表明在一批样品上FWHM<1.1°。这优于国内外溅射法同行得到的约2°的最佳结果。而且生长温度及薄膜厚度还低于同行的相应参数。......
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