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[期刊论文] 作者：席仕伟,何锦涛,
来源：原子能科学技术 年份：2002
采用离子束增强沉积（IBED）铜过渡层和电子束蒸镀铜膜结合制备的单质膜结构，比采用电子束蒸镀钛－铜多层膜结构工艺简单，且不增加光刻腐蚀工艺难度，铜膜沉积于低表面粗糙度（Ry≤0．1μm）......
[会议论文] 作者：王旭光,唐彬,席仕伟,
来源：第十三届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：2014
本文采用蒸发和溅射的制备工艺在ZnO薄膜上制作Au薄膜,研究不同沉积方法对Au膜结构的影响,表明溅射比蒸发制备的薄膜致密性更好.重点研究了不同溅射功率对成膜及对Au膜下ZnO...
[期刊论文] 作者：陈颖慧,高杨,席仕伟,赵兴海,,
来源：传感技术学报 年份：2012
采用射频磁控溅射方法分别在硅基底和金刚石基底上制备ZnO薄膜，研究了硅和金刚石衬底的不同对ZnO薄膜生长机理的影响，同时分析了氩氧比和退火温度这两个工艺参数对薄膜的晶格取......
[期刊论文] 作者：高杨,代富,席仕伟,刘婷婷,,
来源：传感器与微系统 年份：2014
为了完成所研制的MEMS气体流量传感器样品的流量测试与标定,设计制作了一种由标准流量发生器和传感器信号读出与数据采集电路组成的简易流量测试装置。标准流量发生器由注射...
[期刊论文] 作者：王旭光,姚明秋,席仕伟,徐韩,
来源：太赫兹科学与电子信息学报 年份：2015
在ZnO薄膜上采用不同溅射功率制作了Au薄膜,研究不同溅射功率对Au膜成膜速率、结晶质量和结合力的影响,表明在本实验中100 W功率下Au膜的成膜质量比较好。同时对Zn O薄膜电阻...
[期刊论文] 作者：赵兴海,赵翔,高杨,席仕伟,苏伟,,
来源：物理学报 年份：2011
构建了一种基于光纤传输高功率激光的飞片发射系统,并测试了飞片速度.飞片膜层为三明治结构:铝烧蚀层、氧化铝隔离层和铝飞片产生层.飞片膜层采用磁控溅射技术沉积在玻璃衬底...
[期刊论文] 作者：张照云,施志贵,高杨,席仕伟,彭勃,,
来源：传感技术学报 年份：2012
对金属电极的腐蚀特性进行了研究。实验中设计了多种不同的金属电极,通过改变电极材料、电极厚度、电极层数、腐蚀液成分及温度等条件,研究了金属电极的腐蚀特性。通过研究发...
[期刊论文] 作者：王亚军, 徐翱, 席仕伟, 杨林, 金大志, 陈磊,,
来源：原子能科学技术 年份：2019
基于微机电系统技术的薄膜离子源是芯片型中子发生器的关键部件。本文通过在陶瓷基底上制备图形化钛膜并利用3层陶瓷重叠的方法获得了薄膜离子源样品,采用平板探针法和激光共...
[期刊论文] 作者：施志贵,郭菲,席仕伟,张茜梅,王亚军,
来源：火工品 年份：2004
重点阐述了使用MEMS工艺将冲击片雷管的金属桥、反射片、飞片和加速膛集成为一体的制造方法.该方法较之2005年报道的硅集成冲击片雷管制造方法有两方面改进:一是采用金属桥替...
[期刊论文] 作者：赵翔,苏伟,李东杰,高杨,席仕伟,,
来源：红外与激光工程 年份：2008
激光驱动飞片技术作为一项高技术,在基础理论研究和工程实践方面有着广泛的应用。而激光与飞片的能量耦合关系一直是该项技术研究的热点之一。根据激光诱导爆轰波(LSDW)理论,...
[期刊论文] 作者：陈颖慧,王旭光,席仕伟,施志贵,姚明秋,,
来源：微纳电子技术 年份：2013
采用射频反应磁控溅射法制备了AlN压电薄膜,并分析了制备条件对AlN薄膜性能的影响。为了确定c轴择优取向生长AlN薄膜的制备工艺参数,设计了关于溅射功率、衬底温度、氮氩体积...
[会议论文] 作者：高杨[1]代富[2]席仕伟[3]刘婷婷[4],
来源：2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会 年份：2013
为了完成所研制的MEMS气体流量传感器样品的流量测试与标定,设计、制作了一种由标准流量发生器和传感器检测电路与数据采集模块组成的简易流量测试装置.标准流量发生器由注射...
[期刊论文] 作者：郑英彬,施志贵,席仕伟,赵龙,李红,赵兴海,,
来源：微纳电子技术 年份：2011
基于MEMS技术制作了太赫兹(THz)滤波器样品,研究了制作滤波器的工艺流程方案,其关键工艺技术包括硅深槽刻蚀技术、深槽结构的表面金属化技术、阳极键合和金-硅共晶键合技术。...
[期刊论文] 作者：高杨,陈营端,白竹川,席仕伟,郑英彬,,
来源：半导体光电 年份：2011
设计了一种Si基金刚石薄膜上的SAW RF MEMS滤波器,其中心频率为400MHz,叉指换能器(IDT)线宽为5μm。采用中物超硬材料公司定制的硅基金刚石薄膜基片,利用射频溅射方法在金刚...
[期刊论文] 作者：陈颖慧,郑英彬,席仕伟,唐彬,王旭光,张慧,,
来源：半导体技术 年份：2013
传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f...
[期刊论文] 作者：袁明权,彭勃,赵龙,武蕊,唐海林,席仕伟,谭刚,,
来源：信息与电子工程 年份：2009
为了解决“三明治”这类微器件制作的深窄槽结构成型问题，运用无掩膜湿法腐蚀技术，成型悬臂梁雏形后再成型质量块，较好地实现了悬臂梁与质量块同时准确成型，研制出±70g和......
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