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[期刊论文] 作者:张沈军,,
来源:微处理机 年份:1990
本文在实验的基础上,叙述了LSI 中的几种双层布线工艺方法,将这几种方法进行了分析比较,并从中得出结论:Si3N4—SiO2方法以及 PI 方法是现...
[期刊论文] 作者:张沈军,
来源:半导体技术 年份:1991
本文参考了国外近期一些有关资料,结合实际经验,对国外目前多层布线的几种方法以及今后发展趋势作了综合论述,同时对国内的多层布线技术的今后发展方向提出一些看法。...
[期刊论文] 作者:张沈军,
来源:新课程:教研版 年份:2010
在进行化学实验的过程中,经常对某些试剂的加入量有“少量”和“过量”的模糊要求,能否正确理解这两个模糊用量的含义,对实验的结果有着直接的影响,甚至是决定实验成败的关键。下......
[期刊论文] 作者:张沈军,
来源:电子器件 年份:1992
一、前言 随着半导体元器件的微细化,对深宽比(ASPECT)高的电极孔采用填充技术已成为一项十分必要的手段。采用的填充技术有金属填充法,选择钨(W)及其他金属等,或者多晶...
[期刊论文] 作者:张沈军,
来源:半导体技术 年份:1994
在实际引进工作的基础上,广泛收集了有关信息资料,就美国二手半导体设备的产生,需求,翻新技术方法以及市场情况进行了客观描述。由些对购置二手设备中常见的问题以及国内有关技术......
[期刊论文] 作者:张沈军,,
来源:微处理机 年份:1989
本文对注 BF2、P、As 三种元素的Si 单晶样品,经过快速光退火与普通炉子退火进行了比较分析,从而得出在注入浅结的获取、载流子浓度分布、损伤恢复及过程时间等方...
[学位论文] 作者:张沈军,
来源: 年份:2012
本论文以XDZQ公司营业部绩效考核为基本的案例研究对象,通过对绩效考核的概念、理论的系统研究及对考评方法的对比分析,归纳了当今世界绩效考评的主流理论。通过调查研究XDZQ公司营业部绩效考核现状,并加以分析,找出绩效考核中存在的问题和原因,综合运用了目标......
[期刊论文] 作者:张沈军,穆森,,
来源:微处理机 年份:1993
开展多晶—单晶复合结构中杂质分布研究对多晶发射双极型器件以及微细化的结 MOS 器件的研制具有重要的意义。为此,我们研究了高—低双能量/离子注入的多晶—晶复合样品在经...
[期刊论文] 作者:穆森,张沈军,,
来源:微处理机 年份:1993
本文研究了快速热处理(RTP)工艺在形成硅化钛过程中氮化钛生长的可能性,并用方阻测试仪、Auger能谱分析等手段分析了该结构的电学行为及其对RTP温度/时间的依赖关系。结果表...
[期刊论文] 作者:张沈军,王刚,
来源:微处理机 年份:1994
本文就L26LS30双差分RS-422总线SR动器的电路的工作原理、功能、结构、版图设计、制造工艺以及电路的测试等情况做一简要介绍。...
[期刊论文] 作者:张沈军,胡敏,
来源:电子材料(机电部) 年份:1992
...
[期刊论文] 作者:张沈军,李婉莹,
来源:微处理机 年份:1992
(超)浅结制造技术是当今VLSI/ULSI的关键技术之一,本文分析了该技术中牵涉到的几个问题,在对当前国外流行的几种实用方法评估对比的基础上,就该技术目前的状况以及今后的发展...
[期刊论文] 作者:张沈军,李婉莹,
来源:微电子学与计算机 年份:1992
LT8289总线仲裁器是为8086/8088多重设备/多重处理系统配套的接口电路。它为多总线主设备系统以及远程方式下的8089 IOP提供总线仲裁,它还具有双极型的缓冲与驱动能力。该电...
[期刊论文] 作者:张沈军,李婉莹,
来源:微处理机 年份:1994
本文就LT3486四线接收器电路的功能、结构、版图设计、制造工艺,以及电路的测试等情况做一简要介绍。...
[期刊论文] 作者:张沈军,李婉莹,
来源:电子器件 年份:1995
针对二氧化锡薄膜常用的两种生长方法-等离子增强化学气相沉积(PECVD)及溅射/蒸发生长的不同特点,分别采用了两种不同的剥离工艺方案,由此实现了与IC加工工艺兼容良好的SnO2薄膜成形技术。......
[期刊论文] 作者:张沈军,李婉莹,
来源:微处理机 年份:1995
本文不目前国际上流行的两种最为主要的旋涂成膜材料-光敏聚酰亚胺和SOG的理化性能,使用特点及其国内相关技术现状与今后的发展情况加以综述。...
[期刊论文] 作者:李婉莹,张沈军,
来源:通信与广播电视 年份:1992
...
[期刊论文] 作者:濱嶋俊樹,张沈军,
来源:电子器件 年份:1992
一、前言 随着半导体元器件的微细化,对深宽比(ASPECT)高的电极孔采用填充技术已成为一项十分必要的手段。采用的填充技术有金属填充法,选择钨(W)及其他金属等,或者多晶淀积...
[期刊论文] 作者:郭兴照,张沈军,任福山,,
来源:中国公共卫生学报 年份:1991
1983~1685年我们在沈阳市选择A(工业区)、B(商业区)、C(居民区)、D(相对清洁区)4个大气污染程度不同的地区(总人口数为331868人)60岁以上老年人22151名为观察对象,按WHO规定...
[期刊论文] 作者:张沈军,李婉莹,胡敏,,
来源:微处理机 年份:1992
(超)浅结制造技术是当今VLSI/ULSI的关键技术之一,本文分析了该技术中牵涉到的几个问题,在对当前国外流行的几种实用方法评估对比的基础上,就该技术目前的状况以及今后的发展...
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