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[学位论文] 作者：潘建旋,,
来源：吉林大学 年份：2005
微机械电子系统(Micro-electro-mechanical System, MEMS)是以微传感器、微执行器以及驱动和控制电路为基本元器件组成的自动性能高、可以活动和控制、机电合一的微机械装置...
[会议论文] 作者：潘建旋, 以善珍, 周航宇,,
来源： 年份：2004
与 InP 衬底晶格常数相匹配的 In0.53Ga0.47As 材料能够制作出高质量的光电探测器,可工作在室温或热电制冷条件下,光响应谱范围为0.92～1.7μm,具有高达80%以上的量子效率。通...
[期刊论文] 作者：杨薇,刘迎,肖立峰,潘建旋,
来源：红外与激光工程 年份：2009
以LiNbO_3晶体为基底,SiO_2/In_2O_3为镀膜材料,设计并制作了用于准共线型声光可调谐滤波器(AOTF)的声波导及其叉指换能器(IDT),研究了制作工艺,实验测量了该声波导的传输性...
[期刊论文] 作者：潘建旋，以善珍，周航宇，PANJian-xuan，YISha,
来源：城市道桥与防洪 年份：2007
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者：杨薇,刘迎,肖立峰,杨兆祥,潘建旋,,
来源：物理学报 年份：2010
应用单级偏振无关的准共线型声光可调谐滤波器为调谐元件,实现了环形腔掺铒光纤激光器的连续可调谐激光输出.简要阐述了与偏振无关的准共线型声光可调谐滤波器的工作原理,对...
[期刊论文] 作者：董玮, 张歆东, 刘彩霞, 贾翠萍, 潘建旋, 孙东明, 徐,
来源：高技术通讯 年份：2005
通过各向异性湿法腐蚀工艺利用(110)硅片制作了8×8阵列光开关的微反射镜阵列,反射镜面为{111}面,表面粗糙度低于10nm, 垂直度好于用同样的方法在(100)硅片上制作的反射...
[会议论文] 作者：贾翠萍;潘建旋;董玮;王丹;周敬然;陈维友;,
来源：全国第十二次光纤通信暨第十三届集成光学学术会议 年份：2005
利用硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀特性,在(100)硅片上制做出光开关结构,对制作的光开关采用精密光纤调整架进行光纤耦合对准,并对耦合好的开关进行性能测试和分析.设计并建立...
[期刊论文] 作者：贾翠萍,董玮,徐宝琨,潘建旋,周敬然,陈维友,
来源：半导体技术 年份：2005
研究了在KOH溶液中(110)硅片的腐蚀特性，在保证(110)面的平整和{111}面的光滑的腐蚀实验条件下，利用(110)面和{111}面腐蚀选择比大，采用湿法腐蚀技术可以制作高深宽比结构的方式...
[期刊论文] 作者：贾翠萍,董玮,徐宝琨,潘建旋,周敬然,陈维友,
来源：半导体技术 年份：2004
研究了在KOH溶液中(110)硅片的腐蚀特性,在保证(110)面的平整和{111}面的光滑的腐蚀实验条件下,利用(110)面和{111}面腐蚀选择比大,采用湿法腐蚀技术可以制作高深宽比结构的...
[期刊论文] 作者：董玮,张歆东,刘彩霞,贾翠萍,潘建旋,孙东明,徐宝琨,王立军,
来源：高技术通讯 年份：2004
通过各向异性湿法腐蚀工艺利用(110)硅片制作了8×8阵列光开关的微反射镜阵列,反射镜面为{111}面,表面粗糙度低于10nm, 垂直度好于用同样的方法在(100)硅片上制作的反射镜....
[期刊论文] 作者：董玮,阮圣平,张歆东,刘彩霞,贾翠萍,潘建旋,张龙,孙东明,,
来源：半导体学报 年份：2003
分析了扭臂驱动结构的上电极端部位移与外加电压之间的关系，提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构，并通过倾斜一定角度的(111)硅片的各向异性腐蚀制作了倾斜下电极。理论分析和......
[期刊论文] 作者：董玮,阮圣平,张歆东,刘彩霞,贾翠萍,潘建旋,张龙,孙东明,,
来源：高技术通讯 年份：2003
利用(100)硅片和偏2.5°的(111)硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型2×2光开关.微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构是在(100)硅片上制作的,反射镜与光纤槽之间靠晶...
[期刊论文] 作者：纪平,潘建旋,徐宝琨,董玮,陈维友,刘彩霞,张歆东,贾翠萍,,
来源：光子学报 年份：2002
在（100）硅片上进行各向异性腐蚀时，能暴露垂直的{100}面、倾角为45°的{110}面和倾角54°的{111}面，{111}面是沿着方向形成的，{100}和{110}面是沿着方向形成的...
[期刊论文] 作者：董玮,阮圣平,张歆东,刘彩霞,张龙,纪平,潘建旋,贾翠萍,陈,
来源：微细加工技术 年份：2002
用纯KOH水溶液和KOH+IPA混合水溶液在(100)硅片上沿＜100＞方向上腐蚀所暴露的平面是不同的.纯KOH水溶液中总是能暴露与衬底垂直的{100}面,在KOH+IPA溶液中,随着KOH的浓度不同将...
[期刊论文] 作者：董玮,阮圣平,张歆东,刘彩霞,张龙,纪平,潘建旋,贾翠萍,陈,
来源：微细加工技术 年份：
...
[期刊论文] 作者：贾翠萍，董玮，徐宝琨，潘建旋，周敬然，陈维友，JIACui-ping，DONGWei，XUBao-kun，PANJian-xuan，ZHOUJing-ran，CHENWei-you,
来源：城市道桥与防洪 年份：2005
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[会议论文] 作者：董玮,陈维友,刘彩霞,张歆东,贾翠萍,张龙,纪平,潘建旋,徐宝琨,
来源：第四届全国光学学术会议 年份：2002
在(100)硅片上进行各向异性腐蚀时,能暴露垂直的{100}面、倾角为45°的{100}面和倾角54°的{111}面,{111}面是沿着方向形成的,{100}和{110}面是沿着方向形成的.用纯KOH水溶液...
[会议论文] 作者：陈维友,董玮12,张歆东,刘彩霞,贾翠萍,潘建旋,孙东明,徐宝琨,王立军,
来源：第五届全国光子学大会 年份：2004
设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关，开关由上电极阵列、下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成的。上电极阵列利用（110）硅片制作，其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极。下......
[期刊论文] 作者：董玮,阮圣平,张歆东,刘彩霞,贾翠萍,潘建旋,张龙,孙东明,纪平,陈维友,
来源：半导体学报 年份：2003
分析了扭臂驱动结构的上电极端部位移与外加电压之间的关系 ,提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构 ,并通过倾斜一定角度的 (111)硅片的各向异性腐蚀制作了倾斜下电极 .理论分...
[期刊论文] 作者：董玮,阮圣平,张歆东,刘彩霞,贾翠萍,潘建旋,张龙,孙东明,纪平,陈维友,
来源：高技术通讯 年份：2003
利用 (1 0 0 )硅片和偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型 2× 2光开关。微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构是在 (1 0 0 )硅片上制作的 ,反射镜与光纤...
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