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[会议论文] 作者：严伟,王肇志,姚汉民,
来源：第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会 年份：2003
本文针对当前在激光共聚焦生物芯片扫描仪器研发过程中遇到的问题,总结了激光共聚焦生物芯片扫描仪三大关键技术特点,并对各个关键单元技术进行了详尽的分析....
[期刊论文] 作者：胡松,王肇志,唐小萍,
来源：计量技术 年份：2002
介绍一种高精度螺距自动扫描测量仪的技术方案和设计思想，该仪器用高速线阵CCD捕捉螺旋线的左右边缘，用精密开式光栅测出瞄准时扫描工件台的位置值，可用于自动高速扫描测量电子......
[期刊论文] 作者：乔俊仙,王肇志,余国彬,
来源：电子工业专用设备 年份：2005
介绍了电子束曝光机的一种新型精密工件台,在结构上成功地将工件台的承载力与导轨的导向作用分离开来,极大地提高了工件台的运动精度和运行的平稳性.论述了精密工件台的结构...
[期刊论文] 作者：乔俊仙,王肇志,余国彬,,
来源：微细加工技术 年份：2006
以前的传输片机械手由于采用双浮动滑板结构来实现各个状态的定位,长时间使用易导致机械磨损、弹簧应力疲劳等,出现机械手碰撞片夹或抓不到片等现象,难以实现高精度、高可靠...
[期刊论文] 作者：严伟,王肇志,姚汉明,胡松,
来源：微纳电子技术 年份：2002
微电子技术的不断发展,对光刻设备精度的要求越来越高,特别是在一些特殊器件的制作领域,要求基片多次曝光后必须达到较高的套刻精度.目前国内外有多种比较成熟的对准技术来满...
[期刊论文] 作者：赵立新,胡松,王肇志,罗正全,,
来源：微细加工技术 年份：2007
为了改进光电码盘的制作工艺,提高效率,降低成本,提出了一种光电码盘的光刻方法.通过计算机控制激光聚焦扫描扇区掩模制作来选择扇区掩模的码道,采用光学光刻的方法制作码盘,...
[会议论文] 作者：罗正全;胡松;王肇志;赵立新;,
来源：第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：2001
在制作微透镜阵列时,光刻过程是采用连续浮雕方式.因此,其光刻设备在满足一般光刻要求的基础上,还应具备曝光时间和步进距离均可连续调节的步进扫描曝光功能.本文介绍了科学...
[期刊论文] 作者：乔俊仙,王肇志,胡松,余国彬,
来源：电子工业专用设备 年份：2005
由于电子束曝光机采用的修正技术,工件台的测量系统显得十分重要.介绍了电子束曝光机激光定位精密工件台的工作原理,其测量系统首次采用国际先进的HP5527双频激光干涉仪.对测...
[期刊论文] 作者：周晨波,杨力,马文礼,王肇志,江荣熙,
来源：中国激光 年份：1998
针对气体激光器细光束的尺寸参数的工业测量和质量控制，提出一种朗琴栅尺扫描ＴＥＭ００基模高斯激光光束的测量分析仪。所研制的仪器可以测量分析光斑１／ｅ２直径、横场分布和调制对比度等光束......
[期刊论文] 作者：赵立新,胡松,王肇志,罗正全,严伟,胡翔宇,,
来源：微纳电子技术 年份：2006
计算图像高频分量进行成像的调焦是自动调焦的方法之一。通过对调焦评价函数的分析，根据激光共聚焦生物芯片扫描的成像特点，提出了一种调焦评价函数一像素灰度差绝对值求和法。......
[会议论文] 作者：胡松,姚汉民,刘业异,张强,王肇志,罗正全,陈伟明,
来源：第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：2001
本文介绍cy3、cy5两种荧光染料标记的生物芯片的双激光共聚焦生物芯片扫描仪主要技术方案、光学测量系统、高速XY扫描原理....
[会议论文] 作者：赵立新,胡松,刘业异,严伟,罗正全,王肇志,陈兴俊,
来源：第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会 年份：2003
共聚焦成像技术广泛应用于采集精细的荧光图像,在生物芯片技术领域,共聚焦成像技术用于生物芯片检测,能显著减少样本点以外的光的收集率,所以明显降低背景噪声,增大信噪比.与同类的CCD成像技术相比,共聚焦成像技术可以做到更大的数值孔径,具有更高的检测灵敏度.......
[期刊论文] 作者：乔俊仙,王肇志,胡松,张正荣,邢薇,唐小萍,王淑蓉,,
来源：微纳电子技术 年份：2006
介绍了nm级电子束曝光机激光定位精密工件台系统的结构组成、各部分技术措施及总体性能指标。该工件台采用HP5527激光干涉测量系统，测量分辨率达0．6m，结构上成功将导向与承载分......
[期刊论文] 作者：赵立新,严伟,王建,胡松,唐小萍,王肇志,王淑蓉,张正荣,张,
来源：微纳电子技术 年份：2009
随着MEMS和MOEMS技术的发展和器件制作对低成本、灵活、高效的需求，数字灰度无掩模光刻技术已成为人们研究的热点。介绍了一种基于数字微镜器件（DMD）的无掩模数字灰度投影光刻技......
[期刊论文] 作者：赵立新,严伟,王建,胡松,唐小萍,王肇志,王淑蓉,张正荣,张雨东,,
来源：微纳电子技术 年份：2009
随着MEMS和MOEMS技术的发展和器件制作对低成本、灵活、高效的需求,数字灰度无掩模光刻技术已成为人们研究的热点。介绍了一种基于数字微镜器件(DMD)的无掩模数字灰度投影光...
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