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[期刊论文] 作者：章吉良,
来源：微细加工技术 年份：1993
对于各组份原子质量相差显著的CoZrNb合金,当使用磁控溅射时,在靶和基板之间存在不同的实际源,由这个实际源发生的粒子将在靶死区内背散射沉积。实际源到靶的距离随溅射工作...
[会议论文] 作者：章吉良,
来源：全国计算机和外部设备研讨会 年份：1986
...
[期刊论文] 作者：章吉良,李明,
来源：真空科学与技术 年份：1996
在纯Ａｒ和Ａｒ＋１０％Ｏ２两种工作气体及不同基板偏压条件下，用射频溅射方法制备了Ａｌ２Ｏ３薄膜，测量了每个样品的内应力和密度，并对部分样品用Ｘ射线光电子谱进行了结构分析。结果表明，薄膜呈非晶态，薄膜的应......
[期刊论文] 作者：章吉良,李明,
来源：微细加工技术 年份：1995
用射频溅射方法，在不同工作气体（纯Ａｒ和Ａｒ＋１０％Ｏ＿２）和不同基片偏压（－３０Ｖ到－１８０Ｖ，间隔－３０Ｖ）下，由烧结Ａｌ＿２Ｏ＿３靶材制备Ａｌ＿２Ｏ＿３薄膜。测试了样品的介电强度和沉积速率，对部分样品的结构和成份分别用ＸＰＳ和Ｘ射线进行了分析。结果表明：薄......
[期刊论文] 作者：钱建国,章吉良,
来源：微细加工技术 年份：2000
主要研究了不同的反应离子刻蚀条件（氧基工作报体、刻蚀功率、工作气压等）下所获得的不同刻蚀效果。当以Ｏ２／ＣＨＦ３作为工作气体时，在一定的工艺条件下实现了高深宽比（深度２３μｍ，深宽比〉７）、侧壁......
[期刊论文] 作者：章吉良,周勇,
来源：微细加工技术 年份：1998
本文报道了近年来ＬＩＧＡ技术的改进（如制备活动微结构和特殊形状侧壁以及与集成电路的准单元集成等），描述了用ＬＩＧＡ技术制备的器件和微系统在医疗中的应用，包括微执行器，液体控制系统（微泵和微......
[期刊论文] 作者：杨春生,章吉良,
来源：微细加工技术 年份：1994
本文应用磁控直流溅射方式制备厚度从０．１μｍ～０．２５μｍ的Ｔａ薄膜，通过改变溅射功率、基片的交流偏压和不同的基片，测定Ｔａ薄膜的内应力。研究结果表明：在通常的溅射条件下，Ｔａ溅射膜的内应力为压应力；随......
[期刊论文] 作者：章吉良,杨春生,
来源：微细加工技术 年份：2000
在生物医学、化学液体的流量检测与分析及固态元器件冷却等领域中，均需要流量的精细控制和检测系统。在这类注量精细控制和检测系统中，微小型泵是一个基本元件。作者利用上海交......
[期刊论文] 作者：周勇,赵小林,章吉良,,
来源：城市道桥与防洪 年份：2000
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥...
[期刊论文] 作者：章吉良,周勇,陈迪,
来源：微细加工技术 年份：1998
文报道了近几年来 LIGA技术的改进 (如制备活动微结构和特殊形状侧壁以及与集成电路的准单元集成等 ) ,描述了用 L IGA技术制备的器件和微系统在医疗中的应用 ,包括微执行器...
[期刊论文] 作者：向三名,章吉良,张明生,
来源：微细加工技术 年份：2002
应用磁镜像法和快速傅立叶变换(FFT)法对单片微波集成电路(MMIC)的薄膜平面射频集成电感器进行了电磁学模拟,并把模拟结果和有限元法(FEM)模拟的结果[1]进行了比较.根据模拟...
[期刊论文] 作者：章吉良,许政权,陈益新,
来源：光学学报 年份：1984
本研究测量了各种LiNbO3波导m线光强分布轮廓随时间的变化。结果表明,由陈益新等提出的电场增强硝酸银盐浴法和由贝尔实验室报道的苯甲酸盐浴法制备的离子迁移波导具有较高的抗光损伤能力。当发生光损伤时,这种波导由于平面内散射引起的传输光束的角定可达40°......
[会议论文] 作者：向三名,章吉良,张明生,
来源：第五届全国微米/纳米技术学术会议 年份：2001
用快速傅立叶变换法(FFT)和磁镜像法对单片微波集成电路(MMIC)的薄膜平面射频集成电感器进行了微磁学分析.根据模拟结果,对射频集成电感器的结构参数和加工参数进行了优化.这种模拟方法同样适用于永磁执行器的受力分析和电磁型微马达的优化分析.......
[期刊论文] 作者：周勇,赵小林,蔡炳初,章吉良,
来源：真空科学与技术 年份：1999
概述了磁软磁层偏置磁阻磁头的工作原理和特点，采用传输线模型对其工作点的选取和结构参数进行了初步设计，与实验结果符合较好．...
[期刊论文] 作者：章吉良,赵小林,宋柏泉,蔡炳初,
来源：电子计算机外部设备 年份：1995
新型２４点阵低温热敏打印头以密排六角立方晶体结构（ｈｃｐ）的Ｔａ２Ｎ薄膜为发热电阻，增加了填充层，提高了传热效率。在－５～＋４５℃温度范围内，无论采用热敏打印纸、热敏蜡纸还是热敏色带，均可得到清晰的打印......
[期刊论文] 作者：张明生,蔡炳初,赵小林,章吉良,
来源：磁性材料及器件 年份：1998
详细阐述了用快速傅立时变换法求解磁性薄膜的退磁场的原理，具体计算了实例，并与磁偶极子法作了比较。The principle of solving the demagnetizing field of magnetic thin...
[期刊论文] 作者：章吉良,杨春生,赵小林,张卫平,蔡炳初,
来源：微细加工技术 年份：2000
在生物医学、化学液体的流量检测与分析及固态元器件冷却等领域中 ,均需要流量的精细控制和检测系统。在这类流量精细控制和检测系统中 ,微小型泵是一个基本元件。作者利用上...
[会议论文] 作者：章吉良;杨春生;赵小林;张卫平;蔡炳初;,
来源：第四届全国微米/纳米技术学术会议 年份：2000
在生物医学、化学液体的流量检测与分析及固态元器件冷却等领域中,均需要流量的精细控制和检测系统.在这类流量精细控制和检测系统中,微小型泵是一个基本元件.作者利用上海交...
[期刊论文] 作者：章吉良,李明,杨春生,赵小林,宋柏泉,
来源：微细加工技术 年份：2004
用射频溅射方法，在不同工作气体（纯Ａｒ和Ａｒ＋１０％Ｏ＿２）和不同基片偏压（－３０Ｖ到－１８０Ｖ，间隔－３０Ｖ）下，由烧结Ａｌ＿２Ｏ＿３靶材制备Ａｌ＿２Ｏ＿３薄膜。测试了样品的介电强度和沉积速率，对部分样品的结构和成份分别用ＸＰＳ和Ｘ射线进行了分析。结果表明：薄......
[期刊论文] 作者：章吉良,李明,杨春生,赵小林,宋柏泉,
来源：真空科学与技术 年份：1996
在纯Ar和Ar＋10％O2两种工作气体及不同基极偏压条件下，用射频溅射方法制备了Al2O3薄膜，测量了每个样品的内应力和密度，并对部分样品用X射线光电子谱进行了结构分析。结果表明，薄膜呈......
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