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[期刊论文] 作者：钱石南,,
来源：光学技术 年份：1980
一、前言在六十年代,我国开始用光刻胶制造晶体管集成电路,光学界也很快将这一工艺用于照相刻划了。由于光刻胶具有分辨率高、性能稳定、抗腐蚀力强等优点,所以它在光学...
[期刊论文] 作者：钱石南,
来源：仪器仪表学报 年份：1983
高精度平板的平面度一般用等厚干涉条纹测量,它的一个条纹间距相应于二分之一波长的光程差,用目测可以判别的平面度最高仅1/20波长,但是F-P干涉板要求1/100～1/200波长的平面度。本文描述了压电细分多光束干涉法,用压电陶瓷平移干涉板从而建立一组参考干涉条纹,设......
[期刊论文] 作者：钱石南,,
来源：激光与光电子学进展 年份：2008
由于同步辐射光学发展的需要,发展了长行程外形仪。长行程外形仪是一个可以达到纳米和纳弧度灵敏度和精度的小角度和表面外形的测量仪器,适用于大口径光学表面的高精度测量。...
[期刊论文] 作者：钱石南,
来源：仪器仪表学报 年份：1982
同光路干涉方式虽可降低对光学系统调整的精度要求,但当用它测量不同反射率的光学零件时必须更换带不同反射率标准面的各部件,操作麻烦、附件繁多。本文提出了用两块1/4波片...
[期刊论文] 作者：钱石南,
来源：仪器仪表学报 年份：1983
高精度平面的测量方法之一是多光束细分,Herriott利用多狭缝加单色仪得到多波长细分条纹[1],J.Schwider利用标准具得到多波长细分条纹[2],作者也介绍了压电细分的方法[3...
[期刊论文] 作者：钱石南,,
来源：光学仪器 年份：1985
自从我负责研制的YDC型压电测微器总结文章“压电精密调整装置”在本刊1981年第四期发表以来,收到了许多来信,有进一步了解技术情况的、有希望购置的、有提出新的要求或探讨...
[期刊论文] 作者：钱石南,,
来源：光学仪器 年份：1981
本文介绍了精密调整用压电陶瓷的主要要求,压电灵敏度高、体积小、电压与变形量关系的线性好,稳定性高等,并就压电灵敏度进行了分析,提出了增加变形量的几种途径;文章还就 YD...
[期刊论文] 作者：钱石南,,
来源：计量技术 年份：1985
一、前言微位移测量是精密测试的一个重要课题,如压电陶瓷、磁致伸缩材料变形特性的测量,材料膨胀系数的测试,温度稳定性的测量,变形或振动等引起的位移测量都属于这一范畴...
[期刊论文] 作者：钱石南,刘瑞,,
来源：光学仪器 年份：1983
本文介绍了采用温度补偿来保证激光器和扫描干涉仪腔长的稳定性,以提高仪器的性能和精度。同时还介绍了测量腔长的温度稳定性的两种方法——多光束干涉法和扫描干涉法。Thi...
[期刊论文] 作者：钱石南,王景华,
来源：仪器仪表学报 年份：1982
利用激光的优点,研制了一种操作方便、用途广泛、精度高的偏振激光多用干涉仪。仪器采用了1/4波片、偏振分光镜系统,能调节干涉条纹反差和消除光学系统各表面剩余反射的影响...
[期刊论文] 作者：蒋迪奎,李贵和,刘泽文,殷立新,钱石南,阚娅,吴冠原,
来源：真空科学与技术 年份：1994
第一条同步辐射光刻光束线已在合肥国家同步辐射实验室建成，并刻出了线宽0．2μm的图形。真空系统是光束线的重要组成部分。该真空系统要使镜箱内的压力分别小于6．7×10-8Pa（镜箱......
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