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[期刊论文] 作者：陈信琦,季安,
来源：仪表技术与传感器 年份：1999
根据多年研制硅压阻传感器的经验，定性地归纳和探讨硅压阻传感器稳定性的主要影响因素，并提出相应的预防和解决措施。...
[期刊论文] 作者：刘沁,陈信琦,叶挺,,
来源：仪器仪表学报 年份：2006
"力敏传感器专用工装设备"研究是国家关于"传感器产业化技术"研究的重大项目之一,是研制、开发和生产高性能传感器的技术保障.其工艺水平的高低直接决定传感器产品的性能和质...
[会议论文] 作者：乔文华;陈信琦;,
来源：第五届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：1997
该文提出了一种制造压力传感器的新方法，主要采用硅硅键和（ＳＤＢ）技术、腐蚀技术。该方法与传统工艺方法相比省去了机械加工硅杯、与微机械加工腐蚀硅杯相比减少了腐蚀量，且可以使用各......
[会议论文] 作者：上官锋,陈信琦,张卫,
来源：第二届全国敏感元件传感器学术会议 年份：1991
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[会议论文] 作者：张治国, 陈信琦, 李颖, 唐慧,,
来源： 年份：2004
研制了一种电容式硅加速度传感器。敏感器件采用先进的微机械加工工艺,有效地提高了加工精度, 降低成本,减小体积和重量。给出了该器件的结构和工艺设计,给出了中心极板和固...
[会议论文] 作者：张治国, 罗抟翼, 陈信琦,,
来源： 年份：2003
加速度传感器能将加速度转换为电信号。本项目的主要目标是研制出实用化的高精度微硅加速度计用敏感器件。在硅加速度传感器的研制中采用了MEMS技术,这一技术通常指的是...
[期刊论文] 作者：王伟,栾剑,史鑫,陈信琦,,
来源：中国电子科学研究院学报 年份：2011
介绍了一种基于硅基MEMS敏感结构的光学式声传感器,对其工作原理及设计进行了分析与研究,尤其是对感声膜结构,提出将波纹结构引入到传统硅基平膜芯片中,利用MEMS技术制作具有...
[期刊论文] 作者：刘沁，陈信琦，叶挺，LiuQin，ChenXinqi，YeT,
来源：仪器仪表学报 年份：2006
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[会议论文] 作者：孙海玮;陈信琦;刘宏伟;,
来源：第九届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：2005
本文介绍一种体积小、测量范围广、可靠性好、带有过载保护四膜片结构的差压传感器.这种差压传感器外形尺寸为:φ56×36mm;测量范围:1kPa～400kPa;静压或单向耐压:16MPa;工作温...
[会议论文] 作者：郭丽娟,陈信琦,孙海玮,
来源：第九届全国敏感元件与传感器学术会议 年份：2005
本文介绍了一种双绝压敏感芯体配对的差压传感器,它是利用硅压阻原理测量气体或液体的压力差,不仅精度高,而且体积小.传感器利用信号处理电路将压差信号转换成标准电信号输出...
[期刊论文] 作者：李庆剑, 王野, 车静, 陈信琦,,
来源：传感器与微系统 年份：2019
描述五类极端环境下应用的特种传感器技术,讨论各类极端环境对传感器功能和性能的劣化影响和传感器极端环境适应性技术的部分解决方案。涉及的特种传感器主要包括压力、振动...
[会议论文] 作者：唐慧;郑东明;张治国;刘宏伟;陈信琦;,
来源：第八届敏感元件与传感器学术会议 年份：2003
本文介绍的小型多功能集成差压传感器器件,采用CAD设计技术,专为工业智能差压变送器配套而设计的.利用4"的MEMS制造工艺技术,在面积3.5×4.0mm的单晶硅基片上,将扩散硅差压、...
[会议论文] 作者：张治国,罗抟翼,李颖,唐慧,陈信琦,胡竞,
来源：第八届敏感元件与传感器学术会议 年份：2003
硅电容加速度传感器由硅可动电极和玻璃固定电极封接而成.固定电极的加工质量对传感器的性能有很大的影响.本文从封装的角度讨论了硅电容加速度传感器固定电极加工的工艺问题...
[期刊论文] 作者：侯国华,殷景志,李万成,高福斌,马艳,陈信琦,,
来源：仪表技术与传感器 年份：2016
随着工业的发展,湿度监测已广泛地应用在仪器仪表、自动控制系统,农业、气候和环境等各个领域。文中以近十几年的文献资料为基础,介绍了目前利用电学、声学和光学各种不同原理制作的湿度传感器,比较了采用陶瓷,半导体、聚合物和纳米等敏感材料制备的湿度传感器......
[期刊论文] 作者：唐慧, 孙海玮, 刘宏伟, 郑东明, 张治国, 陈信琦, 郑,
来源：仪表技术与传感器 年份：2004
传感器的智能化从数字运算上解决传感器的温度补偿、静压补偿问题,解决了以前静压无法补偿,仅靠工艺解决的难题;改变了温度补偿仅靠硬件电路的方式.大大提高了仪表的测量精度...
[期刊论文] 作者：唐慧,孙海玮,刘宏伟,郑东明,张治国,陈信琦,郑永辉,
来源：仪表技术与传感器 年份：2004
传感器的智能化从数字运算上解决传感器的温度补偿、静压补偿问题,解决了以前静压无法补偿,仅靠工艺解决的难题;改变了温度补偿仅靠硬件电路的方式。大大提高了仪表的测量精度,达到0 1%和0 075%。增加了传感器输出的信息量,实现了传感器的智能化,这也是国际传感......
[期刊论文] 作者：孙海玮,牛军,刘宏伟,陈信琦,郭丽娟,刘波,徐淑霞,
来源：仪表技术与传感器 年份：2005
介绍一种复合式压力开关传感器,可设置多路开关量限,提供系统上、下限和超限报警。描述机械式开关和压力传感器的相互关系,包括一体化的结构设计、传感器的温度补偿、控制电...
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