搜索筛选:
搜索耗时0.9443秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 5 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：郭帅,周旭,池华敬,王双,陈革,章其初,,
来源：真空 年份：2013
本工作研制了一台采用流量计测量复合分子泵抽速的装置。本装置由测试台车、机柜、计算机自动控制和数据采集处理系统三部分组成。选用3个高精度流量计,满量程分别为1000 scc...
[期刊论文] 作者：池华敬,郭帅,熊凯,王双,陈革,章其初,,
来源：太阳能学报 年份：2013
在原磁控溅射三靶镀膜机上安装了UPS03反应溅射闭环控制单元,替代原有的级差法控制流量计改变反应气体流量的方法,实现反应溅射AlN反馈控制。该控制单元由UPC03型控制器和PCV...
[期刊论文] 作者：周旭,郭帅,王双,池华敬,陈革,章其初,,
来源：太阳能学报 年份：2013
采用稳态量热法,研制了一台真空集热管内管外表面SS-AlN太阳吸收涂层半球发射比测量装置。集热管内置三段式加热器,采用直流电源给加热器供电,测量在恒定温度时主加热器的加...
[期刊论文] 作者：熊凯,池华敬,郭帅,许丽,王双,陈革,章其初,,
来源：真空 年份：2013
在玻璃基片上采用金属Al靶在溅射气体Ar和反应气体O2的混合气体中,真空磁控溅射半透明的Al-Al2O3金属陶瓷薄膜,再将沉积薄膜的玻璃基片浸入沸腾的去离子水中氧化,制备成陶瓷...
[期刊论文] 作者：刘洪金,郭帅,池华敬,焦存柱,周旭,王双,陈革,章其初,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2013
在制备不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷集热管的真空磁控溅射镀膜线上,采用PCV25型压电陶瓷阀作为反应气体氮气N2流量输出的驱动元件,实现反应溅射AlN反馈控制.研究了不同环境...
相关搜索：
