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[期刊论文] 作者：龙永福,朱自强,赖宗声,
来源：半导体学报 年份：2003
提出使用过氧化氢后处理多孔硅厚膜，在乙醇、氢氟酸、过氧化氢溶液中，多孔硅样片做阴极施加电流密度为10mA／cm^2希望通过后处理增强多孔硅表面的稳定性、光滑度和机械强度．研究了......
[期刊论文] 作者：龙永福,赖宗声,朱自强,
来源：微波学报 年份：2003
建立了一个MEMS膜开关电容比理论模型.由于这个模型比较全面地考虑了开关阈值电压、维持电压、偏置电压和介质膜内的电场强度等因素对电容比的影响,因而能较为正确地反映开关...
[期刊论文] 作者：茅惠兵,忻佩胜,赖宗声,
来源：半导体光电 年份：2003
讨论了一种具有Fabry-Perot结构的新型微机械光调制器,该光调制器由表面微机械工艺制备.理论分析表明,正弦信号、带直流偏置的正弦信号和方波对光调制器的驱动结果是完全不同...
[期刊论文] 作者：李炜,石艳玲,朱自强,赖宗声,
来源：半导体技术 年份：2003
从移相器的基本原理出发,分别介绍了开关线型、耦合器型和加载线型三种采用微机械加工技术制备而成的微波MEMS移相器的结构特点和工作原理。在此基础上,设计制备了CPW分布式...
[期刊论文] 作者：李小进,石艳玲,赖宗声,朱自强,
来源：微电子学 年份：2003
文章系统地研究了微波无源低通滤波器的设计原理及其设计方法。根据网络综合法,设计出了一个-3dB截止频率为1.2GHz的2阶低通无源滤波器,其器件参数C1、L1、C2分别为2.56pF、1...
[期刊论文] 作者：李小进,石艳玲,赖宗声,朱自强,
来源：半导体学报 年份：2003
从硅衬底RF集成电路中平面螺旋电感的品质因子Q的表达式出发，采用ADS软件模拟计算了平面螺旋集成电感L值与品质因子Q值．通过两组电感Q值的对比，发现品质因子Q随着电感圈数的增加......
[期刊论文] 作者：茅惠兵,忻佩胜,胡梅丽,赖宗声,
来源：微电子学 年份：2003
文章主要讨论了微机电微波/射频开关的原理、制备工艺和特性测试.微机电接触式微波/射频开关的关键结构是悬臂梁,当控制电压大于吸合电压时,悬臂梁发生吸合,使开关导通.考虑...
[期刊论文] 作者：李炜,石艳玲,忻佩胜,朱自强,赖宗声,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2003
详细分析了多种参数对MEMS电容式开关驱动电压的影响,包括材料选取和工艺参数变化,并对驱动电压理论值进行计算.利用表面微机械加工技术在硅衬底上实现了电容式开关,测试结果...
[期刊论文] 作者：李炜,石艳玲,忻佩胜,朱自强,赖宗声,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2003
制备了一种低阻硅基厚膜聚酰亚胺上的高性能共面波导传输线,并从理论上分析了传输线损耗的成因及其计算方法.聚酰亚胺膜厚11.5 μm的低阻硅(0.5 Ω·cm)上的共面波导传输...
[会议论文] 作者：李炜,卿健,石艳玲,忻佩胜,赖宗声,
来源：第八届敏感元件与传感器学术会议 年份：2003
本文详细分析了多种参数对MEMS电容式开关下拉电压的影响,包括材料选取和工艺参数变化,并对下拉电压理论值进行计算.利用表面微机械加工技术在硅衬底上实现了电容式开关,测试...
[会议论文] 作者：李小进,石艳玲,刘赟,赖宗声,朱自强,
来源：第八届敏感元件与传感器学术会议 年份：2003
品质因子Q是衡量电感性能的重要标志.本文采用ADS软件对不同几何结构参数的平面螺旋集成电感的品质因子Q值进行了模拟计算,得到品质因子Q随着电感圈数的增加而减小.根据优化原则设计了一组低通无源滤波器,并且采用ADS软件对设计的滤波器进行了模拟,所设计出的微......
[会议论文] 作者：卿健,忻佩胜,石艳玲,赖宗声,朱自强,
来源：第八届敏感元件与传感器学术会议 年份：2003
频率特性是移相器设计中需要考虑的重要参数之一.在RF MEMS分布式移相器中,由于周期结构的引入,产生了工作上限截止频率即Bragg频率.本文详细讨论了Bragg频率产生的原因及其分析方法,用Agilent ADS软件对RF MEMS分布式移相器进行了S参数仿真,研究了不同结构参数......
[期刊论文] 作者：游淑珍,石艳玲,忻佩胜,朱自强,赖宗声,
来源：微电子学 年份：2003
多孔硅被认为是RF应用领域中较有潜力的衬底材料.文章利用多孔硅作衬底,制备了微型微波共平面波导,采用多线方法计算出该波导在多孔硅上的插入损耗和有效介电常数;提出了通过...
[会议论文] 作者：魏华征,胡梅丽,郑莹,郭方敏,赖宗声,
来源：第八届敏感元件与传感器学术会议 年份：2003
为了快速准确地设计性能良好的RF MEMS开关,本文用HFSS软件对RF MEMS开关进行S参数仿真,对不同结构尺寸的开关进行优化.通过模拟分析了在线电容式RF MEMS开关的射频性能,得到...
[期刊论文] 作者：石艳玲,卿健,李炜,忻佩胜,朱自强,赖宗声,
来源：电子学报 年份：2003
通过在共平面波导上周期性地分布微机械电容,外加电压驱动改变电容值,可实现级联式MEMS移相器.本文讨论了优化相移特性对共平面波导特性阻抗及下拉电压的要求,通过工艺参数优...
[会议论文] 作者：胡梅丽,魏华征,茅惠兵,赖宗声,忻佩胜,
来源：第八届敏感元件与传感器学术会议 年份：2003
本文主要讨论了微波微机械接触式开关的设计、工艺制备和测试结果.我们所设计的接触式开关不同于以往所使用的悬臂梁式的结构,而是采用了桥式结构.当驱动电压大于吸合电压时,悬浮桥与传输线吸合,使开关导通.在不加电压时,开关为关闭状态.开关的制备是以金-氮化......
[期刊论文] 作者：石艳玲,忻佩胜,邵丽,游淑珍,朱自强,赖宗声,
来源：半导体学报 年份：2003
在低阻硅衬底上采用常规CMOS工艺和后处理微机械加工技术实现了微波MEMS共平面波导，并与高阻硅基平面结构共平面波导特性进行了比较．采用混合相似剖分有限元方法设计了一组不同......
[期刊论文] 作者：郭方敏,赖宗声,朱自强,贾铭,初建朋,范忠,朱荣锦,戈肖鸿,,
来源：半导体学报 年份：2003
介绍了一种制作在低阻硅(3～8Ω·cm)上的悬臂式RFMEMS开关。在Cr／Au CPW共面波导上，金／SiOxNy／金三明治结构或电镀金作为悬置可动臂，静电受激作为开关机理。当开关处于“关断”......
[期刊论文] 作者：郭方敏,朱自强,赖宗声,朱守正,朱荣锦,忻佩胜,范忠,贾铭,,
来源：半导体学报 年份：2003
介绍了采用金、铝硅合金等金属分别用作压控式RFMEMS开关阵列——移相器的可动薄膜，实验表明金的延展性比较好，弹性比铝硅合金稍差，启动电压较高，相比较含硅4％的轻质量铝硅合金具......
[期刊论文] 作者：郭方敏,赖宗声,朱自强,贾铭,初建朋,范忠,朱荣锦,戈肖鸿,杨根庆,陆卫,
来源：半导体学报 年份：2003
介绍了一种制作在低阻硅 (3～ 8Ω· cm)上的悬臂式 RF MEMS开关 .在 Cr/ Au CPW共面波导上 ,金 /Si Ox Ny/金三明治结构或电镀金作为悬置可动臂 ,静电受激作为开关机理 .当开...
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