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[期刊论文] 作者：张辉军,邱成军,
来源：黑龙江大学自然科学学报 年份：2005
以金属钛为靶材,采用射频磁控溅射方法制备纳米晶粒TiO2薄膜.利用扫描电镜、紫外-可见光谱仪、X射线衍射仪研究不同热处理温度下制备的纳米晶粒TiO2薄膜的结构及表面形貌.实...
[期刊论文] 作者：张辉军,邱成军,
来源：云南大学学报(自然科学版) 年份：2005
通过射频磁控溅射工艺制备了TiO2复合纳米薄膜并分析了薄膜的结构及光催化特性.退火温度在350-550℃时Fe3+-TiO2复合薄膜均为锐钛矿相,以石英玻璃为基片的掺铁TiO2复合膜在(1...
[期刊论文] 作者：邱成军,刘鑫,曲伟,张辉军,
来源：传感技术学报 年份：2005
采用微加工技术研制了一种以硅为基底材料,具有MEMS结构的氧传感器.阐述了该传感器的工作原理、结构设计、工艺流程以及特性分析.给出了溅射制备TiO2薄膜的方法及锐钛矿型晶...
[期刊论文] 作者：邱成军,吴大军,孟庆旭,卜丹,
来源：仪器仪表学报 年份：2005
利用电感随井管材料介质变化的特点,研制了适合于井下高温环境的电感测控电路.该电路把生成的电压三角波转换成电流三角波,由电感作用形成方波,经绝对值电路实现随材料介质变...
[期刊论文] 作者：邱成军,曹茂盛,孟丽娜,刘红梅,张辉军,
来源：云南大学学报(自然科学版) 年份：2005
使用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的无阀型微驱动器.针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了多层驱动膜的制备方法及PZT薄膜...
[期刊论文] 作者：邱成军,曹茂盛,张辉军,刘红梅,田风军,刘鑫,
来源：材料工程 年份：2005
利用交流磁控溅射设备采用金属Ti靶在石英和硅衬底制备掺银TiO2薄膜,并利用SEM,XRD及吸收光谱等方法分析测试TiO2薄膜的性质,探讨了掺银对TiO2薄膜吸收光谱的影响.并通过对甲...
[期刊论文] 作者：邱成军，吴大军，孟庆旭，卜丹，QiuChengjun，WuDajun，MengQingxu，BuDan,
来源：仪器仪表学报 年份：2005
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