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With the wide application of the asphere in all fields,high precision and high efficiency aspheric surface detection tec......
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以压电陶瓷微位移原理为基础,对精密驱动技术在精密定位工件台上应用作了实验研究,设计了一个包括高压精密可调电源,压电微位移驱动器......
利用压电陶瓷的逆压电效应,基于步进运动原理和误差补偿技术设计了一种高精度定位的大行程精密直线驱动器,制作了样机,进行了静态......
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