宽束冷阴极离子源相关论文
目前国内外光学薄膜制备普遍采用等离子体辅助镀膜技术，该项技术不仅具有节能、不造成环境污染的特点，而且在大规模制造各种高品质的......
离子束辅助镀膜沉积过程中,绝缘工件上的电荷积累效应严重影响了薄膜质量,本文提出了电荷积累的危害,并且提出了三种中和办法,以消......
在离子束辅助镀膜工艺中,离子源工作参数无疑是影响薄膜质量的关键因素.本文对宽束冷阴极离子源溅射特性进行了研究,给出了离子源......
离子柬辅助镀膜沉积过程中，绝缘薄膜表面的电荷积累效应严重影响了薄膜质量。通过对宽束冷阴极离子源引出栅部分的改进，采用分时引出......
在宽束冷阴极离子源和端部霍尔离子源辅助沉积情况下,利用南光ZZS700-1/G箱式镀膜机,通过实验分别验证了这两种离子束辅助沉积对光......
