【摘 要】
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半导体工艺装备是一个非常复杂的系统。多年来,中国半导体行业所需设备几乎全部依赖进口。近20年来,中国半导体行业的强劲发展不仅没有拉动中国半导体装备的发展,反而由于引
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半导体工艺装备是一个非常复杂的系统。多年来,中国半导体行业所需设备几乎全部依赖进口。近20年来,中国半导体行业的强劲发展不仅没有拉动中国半导体装备的发展,反而由于引进的冲击
Semiconductor process equipment is a very complex system. Over the years, almost all of the equipment needed in China’s semiconductor industry has been imported. In the past 20 years, the strong development of China’s semiconductor industry has not only failed to boost the development of China’s semiconductor equipment, but due to the impact of the introduction
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