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CG6300系列FEB测长仪 日立高新技术公司
日立高新技术公司发布了FEB(Field Emission Beam,场发射电子束)测长装置的新产品CG6300。该机型可满足7nm工艺元件开发和10nm工艺......
期刊
日立
测长仪
litho
微细化
元件
场发射
测长
产时
FEB
CG6300
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